產(chǎn)品介紹
Regulus8100是日立冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的全新系列,Regulus8100保留了SU8010易維護(hù)、易操作等優(yōu)點(diǎn),進(jìn)一步提高性能,1kV減速模式下最高分辨率達(dá)到了0.8nm,15kV達(dá)到0.7nm,高低電壓均可滿足高分辨的觀察。
產(chǎn)品特性:
1. 配備加速電壓減速功能,優(yōu)秀的低加速電壓成像能力,1kV分辨率可達(dá)0.8nm
2. 日立專(zhuān)利E×B技術(shù),無(wú)需噴鍍,可直接觀測(cè)不導(dǎo)電樣品
3. 配備電子槍內(nèi)置加熱器,物鏡光闌具有自清潔功能
4. SE與BSE任意比例搭配功能
樣品:AlTiC基板
加速電壓:1kV
倍率:2萬(wàn)倍
產(chǎn)品應(yīng)用:
1、 納米材料;
2、 半導(dǎo)體器件;
3、 高分子材料;
4、 生物醫(yī)學(xué);
5、 新能源;
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